Спектральные методы контроля примесей, их потоков и локализации в неравновесной низкотемпературной плазме пониженного давлениястатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 16 декабря 2020 г.