|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Use of light scatter signals to identify particle materialстатья
- Авторы: Stover J.C., Ivakhnenko V.I., Eremin Yu A.
- Сборник: Optical Metrology Roadmap for the Semiconductor, Optical, and Data Storage Industries II
- Год издания: 2001
- Место издания: SPIE
- DOI: 10.1117/12.450086
- Добавил в систему: Еремин Юрий Александрович