|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Структурные особенности и функциональное поведение вакуумных покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением кремниястатья
- Авторы: Авдюхина В.М., Хрущов М.М., Левин И.С., Кашуркин Е.В., Суляндзига Д.А.
- Журнал: Ученые записки физического факультета Московского Университета
- Номер: 4
- Год издания: 2020
- Номер статьи: 2040701
- Аннотация: Представлены результаты комплексного исследования структурного состояния, химического состава, микромеханических и трибологических свойств вакуумных покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением кремниевых мишеней.
- Добавил в систему: Левин Иван Сергеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Uchenyie_zapiski_FF_2020.pdf | 1,2 МБ | 29 января 2021 [ssesse] |