|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
СТРУКТУРНЫЕ ОСОБЕННОСТИ И ТРИБОЛОГИЧЕСКОЕ ПОВЕДЕНИЕ КРЕМНИЕВЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ В СМЕСИ Ar–C2H2–N2статья Исследовательская статья
- Авторы: Суляндзига Д.А., Хрущов М.М., Авдюхина В.М., Левин И.С., Кашуркин Е.В.
- Сборник: Труды XIII Международной научно-технической конференции "ТРИБОЛОГИЯ - МАШИНОСТРОЕНИЮ"
- Год издания: 2020
- Издательство: ИМАШ РАН
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 286
- Последняя страница: 289
- Аннотация: Представлены результаты комплексного исследования структурного состояния, химического и фазового состава,микромеханических и трибологических свойств вакуумных покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением кремниевых мишеней. Покрытия, полученные магнетронным распылением в смеси с содержанием азота близком 40 об. %, обладают высоким сопротивлением фрикционной усталости в условиях тяжелонагруженного контакта, а углерод, присутствующий в них, имеет алмазоподобную структуру с областями с sp2-и sp3-гибридизацией.
- Добавил в систему: Авдюхина Валентина Михайловна