Корреляция ошибок при монохроматическом контроле процессов напыления оптических покрытийстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 марта 2022 г.
Аннотация:В работе проведено теоретическое исследование корреляции ошибок в толщинах слоев многослойных оптических покрытий при монохроматическом контроле процессов их напыления. Для различных алгоритмов определения времен остановки напыления слоев покрытия получены оценки степени коррелированности ошибок в толщинах слоев. Показано, что параметр, введенный для оценкистепени коррелированности, дает адекватное представление о корреляции ошибок при монохроматическом контроле.