Reconstruction algorithm of 3D surface in scanning electron microscopy with backscattered electron detectorстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 27 октября 2021 г.
Аннотация:A new technique for three-dimensional surface reconstruction of relatively smooth surface topography using the scanning electron microscopy with backscattered electron detector is considered. Experiments show high effectiveness of the method.