Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ФНКЦ РР
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
3D etching modeling in the presence of complex shape conductors
статья
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.
Авторы:
Smirnov A.P.
, Oh J.J., Park W.,
Sheina E.A.
, Shin J.K.,
Shmelev A.B.
Журнал:
Ninth International Conference on Plasma Surface Engineering PSE-2004, Abstracts
Том:
51
Год издания:
2004
Первая страница:
502
Последняя страница:
502
Аннотация:
Математическое моделирование процесса этчинга в присутствии проводников сложной формы.
Добавил в систему:
Шмелев Алексей Борисович