Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в макете ВЧ гибридной плазменной системыстатья
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 апреля 2017 г.
-
Авторы:
Александров А.Ф.,
Петров А.К.,
Вавилин К.В.,
Кралькина Е.А.,
Неклюдова П.А.,
Никонов А.М.,
Павлов В.Б.,
Айрапетов А.А.,
Одиноков В.В.,
Сологуб В.А.,
Павлов Г.Я.
-
Журнал:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. Физика плазмы
-
Том:
45
-
Номер:
6
-
Год издания:
2016
-
Первая страница:
471
-
Последняя страница:
479
-
DOI:
10.7868/S0544126916050021
-
Добавил в систему:
Кралькина Елена Александровна