Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ФНКЦ РР
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Исследование плазмостойкости электронного резиста HSQ высокого разрешения для прототипирования приборов наноэлектроники
статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Авторы:
Мяконьких А.В.
,
Шишлянников А.В.
,
Татаринцев А.А.
,
Кузьменко В.О.
,
Руденко К.В.
, Горнев Е.С.
Журнал:
Микроэлектроника
Том:
49
Номер:
5
Год издания:
2021
Издательство:
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
Местоположение издательства:
Москва
Первая страница:
333
Последняя страница:
338
DOI:
10.31857/S0544126921050045
Добавил в систему:
Татаринцев Андрей Андреевич