|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Влияние плазмы геликонного разряда на структуру тонких пленок при магнетронном распылениистатья
- Авторы: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
- Журнал: Вакуумная техника и технология
- Номер: №1
- Год издания: 2016
- Добавил в систему: Неклюдова Полина Алексеевна