Синтез и свойства наночастиц карбида кремния, полученных методом лазерного пиролизастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 26 января 2022 г.
Аннотация:Определены условия синтеза наночастиц карбида кремния в газовой смеси SiH4/C2H2/Ar/He под действием излучения СO2 лазера с длиной волны 10,6 мкм. Установлено, что лазерный синтез частиц SiC наблюдается при соотношении потоков газов SiH4/C2H2 в интервале 1,6-3,2. Температура в области зоны реакции составляла ~1400-1500°C. Получены наночастицы карбида кремния диаметром ~6 нм и исследован их состав.