|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Анализ изменения формы структурных элементов при деформированиитезисы доклада
- Авторы: Соколов В.Н., Разгулина О.В., Юрковец Д.И., Чернов М.С.
- Сборник: Объединенная конференция "Электронно-лучевые технологии и ренгеновская оптика в микроэлектронике" КЭЛТ-2021
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Место издания: ООО "ФУТУРИС ПРИНТ" Москва
- Первая страница: 135
- Последняя страница: 135
- Добавил в систему: Чернов Михаил Сергеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|