Аннотация:Отработана операция временного бондинга с использованием в качестве носителя кварцевой пластины. Получена экспериментальная зависимость толщины адгезионного слоя от скорости вращения центрифуги. Толщина утоненной рабочей Si-пластины 0150 мм составила 93 ± 3 мкм. Прогиб утоненной структуры не превышает 30 мкм.