|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Применение оптической микроскопии для качественного и количественного анализа поверхности твердых телстатья
- Авторы: Дедкова А.А., Махиборода М.А.
- Журнал: Наноструктуры. Математическая физика и моделирование
- Том: 20
- Номер: 2
- Год издания: 2020
- Первая страница: 41
- Последняя страница: 64
- DOI: 10.31145/2224-8412-2020-20--2-41-64
- Аннотация: Продемонстрированы возможности оптической микроскопии как для предварительного, так и для комплексного анализа структур, используемых преимущественно в микроэлектронике и микромеханике. Даны конкретные примеры применения оптической микроскопии для качественного и количественного анализа, отработки технологических процессов, контроля дефектов, анализа рельефа поверхности, определения параметров структур. Измерения поверхности выполнены в отражённом и проходящем свете, с использованием режимов светлого и темного поля.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна