|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Определение механических свойств МЭМС мембрантезисы доклада
- Авторы: Дедкова А.А., Гусев Е.Э., Ларионов В.С., Дюжев Н.А.
- Сборник: Третий междисциплинарный молодежный научный форум с международным участием «Новые материалы»
- Тезисы
- Год издания: 2017
- Место издания: ООО "Буки Веди" Москва
- Первая страница: 251
- Последняя страница: 254
- Аннотация: Представлена конструкция стенда для определения механических свойств материалов. Проведено исследование мембран SiO2/Si3N4/SiO2/Si3N4 круглой формы различного диаметра. Величина двухосного модуля упругости получена аналитическим способом из математической модели и рассчитана на основе экспериментальных данных. Наблюдается хорошая корреляция между полученными результатами. Установлен характер деформации при отклонении мембраны от избыточного давления. Определено критическое избыточное давление исследуемой структуры для различных диаметров. Установлено, что круглые мембраны различного диаметра выдерживают одинаковое значение внешней силы.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна