|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Зависимость механических напряжений в пленках нитрида кремния от режимов плазмохимического осаждениястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Новак А.В., Новак В.Р., Дедкова А.А., Гусев Е.Э.
- Журнал: Известия высших учебных заведений. Электроника
- Том: 22
- Номер: 2
- Год издания: 2017
- Издательство: Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 138
- Последняя страница: 146
- DOI: 10.24151/1561-5405-2017-22-2-138-146
- Аннотация: Пленки плазмохимического нитрида кремния SiNx, получаемые из газов моносилана SiH4 и аммиака NH3, широко используются в микроэлектронике, микро- и наноэлектромеханических системах. Для многих применений важными характеристиками являются остаточные механические напряжения и состав пленок. Свойства пленок SiNx, в частности механические напряжения и состав, существенно зависят от условий получения: соотношения расходов реагирующих газов, состава газовой смеси, мощности и частоты генератора плазмы, температуры и давления при осаждении. Несмотря на большой объем исследований, данные о зависимости свойств и состава пленок SiNx от условий получения не являются достаточно полными. Изучено влияние отношения расходов реагирующих газов на механические напряжения и состав пленок плазмохимического нитрида кремния SiNx, получаемых из газовой смеси моносилана SiH4 и аммиака NH3 при использовании низкочастотной плазмы. Установлено, что с ростом отношения расходов газов SiH4 к NH3 от 0,016 до 0,25 сжимающие механические напряжения уменьшаются на 31%, стехиометрический коэффициент уменьшается от 1,40 до 1,20, показатель преломления возрастает от 1,91 до 2,08, концентрация связей N-H уменьшается в 7,4 раз, концентрация связей Si-H возрастает в 8,7 раз, а концентрация атомов водорода убывает в 1,5 раза. Результаты можно использовать для контролируемого получения пленок SiNx с такими заданными характеристиками, как остаточные механические напряжения, показатель преломления, стехиометрический коэффициент и концентрация водородсодержащих связей.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна