|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Измерение механических напряжений в фрагменте пленки нитрида кремниястатья
- Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Махиборода М.А., Патюков Н.Н.
- Журнал: Наноструктуры. Математическая физика и моделирование
- Том: 17
- Номер: 1 (31)
- Год издания: 2017
- Первая страница: 51
- Последняя страница: 64
- Аннотация: Разработан способ определения механических напряжений, основанный на анализе изменения геометрии фрагмента плёнки после освобождения от подложки. Проведено моделирование технологического маршрута формирования балочной структуры в среде TCAD. Исследована зависимость прогиба структуры под действием силы тяжести с помощью программы SolidWorks. Экспериментальная подготовка структур осуществлялась с использованием фокусированного ионного пучка. В качестве установки для измерения линейных размеров применялся растровый электронный микроскоп. Проведены измерения механических напряжений нитрида кремния разработанным способом, которые составили - 1.64 ГПа, относительная погрешность составила 1.2 %. Полученное численное значение механических напряжений хорошо коррелируют с данными, получаемыми другими методиками. Данный способ может использоваться для различных материалов, используемых в МЭМС технологии.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна