|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Electron beam lithography on the surface with 3D reliefтезисы доклада
- Авторы: Myakonkikh A., Tatarintsev A., Rudenko K.
- Сборник: Proceedings of International Confernce "Micro- and Nanoelectronics - 2021" (ICMNE-2021): Book of abstracts
- Редакторы: Лукичев Владимир Федорович, Руденко Константин Васильевич
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Издательство: ООО "МАКС Пресс"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 18
- Последняя страница: 18
- Номер статьи: O1-08
- Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич