|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Robust semiconductor-on-ferroelectric structures with hafnia-zirconia-alumina UTBOX stacks compatible with CMOS technologyстатья
- Авторы: Popov V.P., Antonov V.A., Tikhonenko F.V., Tarkov S.M., Gutakovskii A.K., Tyschenko I.E., Miakonkikh A.V., Lomov A.A., Rogozhin A.E., Rudenko K.V.
- Журнал: Journal of Physics D
- Том: 54
- Номер: 22
- Год издания: 2021
- DOI: 10.1088/1361-6463/abe6cb
- Добавил в систему: Мяконьких Андрей Валерьевич