Аннотация:Методом рентгеновской дифракции, растровой электронной микроскопии и применением термодинамических расчетов по модели Миедемы изучена структура и морфология молибденовых покрытий, полученных методом CVD в системе MoCl5–Cd на подложках из меди, нержавеющей стали (12Х18Н10Т), жаропрочных сплавов Inconel X750 и ЖС6У-ВИ. На медной подложке сформировалось рыхлое, пористое и тонкое (0.1 мкм) покрытие, на Inconel X750, 12Х18Н10Т и ЖС6У-ВИ – равномерное и сплошное толщиной соответственно 0.3, 0.7 и 1.0 мкм. В ряду подложек М1–Inconel X750–12Х18Н10Т–ЖС6У-ВИ возрастает скорость осаждения молибдена (от 0.1 до 1.0 мкм/ч), понижается размер его кристаллитов вплоть до 50 нм, увеличиваются микроискажения решетки до 0.16%. Скорость осаждения молибденового покрытия исходя из смеси MoCl5–Cd согласуется с отрицательной энтальпией образования интерметаллидов эквиатомного состава MeMo (где Me – металл подложки), рассчитанной по модели Миедемы. Наблюдаемые в ряду подложек М1–Inconel X750–12Х18Н10Т–ЖС6У-ВИ различия в кинетике осаждения, а также в морфологии, структуре и субструктуре полученных покрытий, объясняются с позиций усиления в нем адсорбционного взаимодействия между подложкой и MoCl5, химического сродства подложки и молибдена.