|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдуваниятезисы доклада
- Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А.
- Сборник: Нанофизика и наноэлектроника: Труды XXVI Международного симпозиума
- Том: 1
- Тезисы
- Год издания: 2022
- Место издания: Изд-во Нижегородского госуниверситета им. Н.И. Лобачевского Нижний Новгород
- Первая страница: 539
- Последняя страница: 540
- Аннотация: Разработана методика оценки радиуса кривизны тонкопленочных мембран. На примере SiNх/SiО2/SiNх/SiО2 и Al мембран показано, что форма мембраны отличается от сферической ближе к области закрепления и к области вершины. Наблюдается тенденция к увеличению радиуса кривизны по мере приближения к центру мембраны.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна