|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Оптимизация масок в фотолитографии с двухстадийным экспонированиемтезисы доклада
- Авторы: Белокопытов Г.В., Боголюбов А.Н., Поройкова А.А.
- Сборник: Тезисы доклада на Международном оптическом конгрессе “Оптика – XXI век”. Санкт-Петербург, 2010
- Тезисы
- Год издания: 2010
- Место издания: Санкт-Петербург
- Первая страница: 300
- Последняя страница: 302
- Добавил в систему: Боголюбов Александр Николаевич