|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Temperature-Dependent Sputtering with Gas Cluster Ions: Numerical Simulationстатья
- Авторы: Ieshkin A.E., Zavilgelsky A.D., Beliaev M.E., Nazarov A.V.
- Журнал: Moscow University Physics Bulletin
- Том: 77
- Номер: 4
- Год издания: 2022
- Издательство: Allerton Press
- Местоположение издательства: New York, N.Y., United States
- Первая страница: 626
- Последняя страница: 630
- DOI: 10.3103/S0027134922040099
- Добавил в систему: Иешкин Алексей Евгеньевич