|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
МЕХАНИЗМЫ И КИНЕТИКА ОСАЖДЕНИЯ ЗАЩИТНЫХ ТАНТАЛОВЫХ ПОКРЫТИЙ БЕЗВОДОРОДНЫМ МЕТОДОМ CVDстатья
- Авторы: Лубнин А.Н., Ладьянов В.И., Пушкарев Б.Е., Сапегина И.В., Файзуллин Р.Р., Трещёв С.Ю.
- Сборник: Физика конденсированных состояний. Тезисы II Международной конференции ФКС-2021, посвященной 90-летию со дня рождения академика Ю. А. Осипьяна (1931-2008).Черноголовка
- Год издания: 2021
- Первая страница: 297
- Последняя страница: 297
- Добавил в систему: Трещёв Сергей Юрьевич