Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ФНКЦ РР
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices
статья
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Авторы:
Miakonkikh A.V.
,
Shishlyannikov A.V.
,
Tatarintsev A.A.
,
Kuzmenko V.O.
,
Rudenko K.V.
,
Gornev E.S.
Журнал:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Номер:
12157
Год издания:
2022
Издательство:
SPIE, the International Society for Optical Engineering
Местоположение издательства:
Bellingham, WA, United States
Номер статьи:
1215717
DOI:
10.1117/12.2626386
Добавил в систему:
Татаринцев Андрей Андреевич