Thermodynamic analysis of Ta chemical vapor deposition via the reduction of tantalum halides with cadmium and zincстатья

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science, Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 апреля 2017 г.