МОДЕЛИРОВАНИЕ ЗАВИСИМОСТЕЙ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННО-ЛУЧЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ, ОТ ТОЛЩИНЫ И УРОВНЯ ЛЕГИРОВАНИЯ ФРОНТАЛЬНОГО СЛОЯстатья

Статья опубликована в журнале из перечня ВАК