|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Электрохимические методы исследования и контроля поверхности кремниевых пластин и диэлектрических слоевстатья
- Авторы: Унтила Г.Г., Унтила Э.В., Бартенев В.Я., Федотов В.П.
- Журнал: Электронная техника, Сер.8. Управление качеством и стандартизация
- Номер: 4
- Год издания: 1988
- Первая страница: 25
- Последняя страница: 32
- Добавил в систему: Унтила Геннадий Григорьевич