Аннотация:Масс-спектрометрическим методом изучено выделение летучих примесей при вакуумном прогревании образцов кварца в интервале 20-1200 градусов C. Определено количественное содержание воды и других газо-жидкостных примесей в природном кварце и в образцах искусственного кварца, выращенных с различной скоростью. На основании анализа кинетических зависимостей, энергии активации и температурных интервалов испарения воды установлено несколько форм состояния воды на поверхности и в объеме кварца. Калибровка масс-спектрометра по индивидуальным веществам (H2O, O2, CO2, H2) позволила установить абсолютные количества воды в разных формах и других летучих примесей в искусственном и природном кварце.