Аннотация:Рассмотрен алгоритм контроля процесса напыления оптических покрытий на основе ана- лиза выборочных данных широкополосных измерений для фиксированного набора длин волн. Рассмотренный алгоритм с одной стороны использует данные широкополосных из- мерений, что является преимуществом по сравнению с использованием данных только мо- нохроматических измерений для одной фиксированной длины волны, а с другой является быстродействующим по сравнению с алгоритмами, использующими полные данные ши- рокополосных измерений. Продемонстрировано, что предложенный алгоритм позволяет получать достаточно точные оценки толщин слоёв напыляемых многослойных оптических покрытий.