|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Study of topographic features, shape, and mechanical stresses in microelectronic structures using geomorphometric techniquesтезисы доклада
- Авторы: Dedkova A., Florinsky I.
- Сборник: Proceedings of the International Conference "Micro- and Nanoelectronics – 2023" (ICMNE–2023), 2–6 October 2023, Мoscow–Zvenigorod, Russia. Book of Abstracts
- Тезисы
- Год издания: 2023
- Место издания: Maks Press Мoscow
- Первая страница: 144
- Последняя страница: 144
- Добавил в систему: Флоринский Игорь Васильевич