Аннотация:Рассмотрена задача распознавания реперной микромаркировки по микроскопическимизображениям, содержащим элементы псевдомаркировки (схожих с настоящей маркировкой элементоврельефа подложки). Приведены примеры изображений с элементами псевдомаркировки и результаты ихраспознавания низкоуровневыми структурными методами анализа, ранее использованными дляраспознавания. Показан механизм влияния псевдомаркировки на снижение эффективности распознавания.Предложено использовать методы структурного анализа более высокого порядка. Описано применениелинейного преобразования Хафа для аппроксимации и последующего распознавания отдельныхэлементов маркировки. Представлен алгоритм обработки изображения и критерий оценки результатовобработки при распознавании. Приведены результаты, подтверждающие работоспособностьпредставленного алгоритма.