Аннотация:В статье представлен новый способ конечно-элементного моделирования, позволяющий учитывать влияние встроен-ных механических напряжений на механические свойства диэлектрической мембраны. Построена конечно-элемент-ная модель и рассчитаны встроенные механические напряжения в структуре газочувствительного преобразователя.Выполнен тепловой расчет структуры газочувствительного преобразователя со встроенными механическими напряже-ниями при температуре нагревателя 600 °C. Показано, что наличие встроенных механических напряжений увеличиваетвнешние механические напряжения при нагреве в 20 раз. На основании полученных результатов моделирования про-ведена корректировка конструкции МЭМС-структуры газочувствительного преобразователя.