Конечно-элементное моделирование механических напряжений в многослойной диэлектрической мембране для мэмс-структуры газочувствительного преобразователя

Григорьев, Д.М.; Никифоров, С.В.; Кривецкий, В.В.; Амеличев, В.В.; Генералов, С.С.

Авторы: Григорьев Д.М., Никифоров С.В., Кривецкий В.В., Амеличев В.В., Генералов С.С.
Журнал: Наноиндустрия
Том: 16
Номер: 9
Год издания: 2023
Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 316
Последняя страница: 323
DOI: 10.22184/1993-8578.2023.16.9s.316.323
Аннотация: В статье представлен новый способ конечно-элементного моделирования, позволяющий учитывать влияние встроен-ных механических напряжений на механические свойства диэлектрической мембраны. Построена конечно-элемент-ная модель и рассчитаны встроенные механические напряжения в структуре газочувствительного преобразователя.Выполнен тепловой расчет структуры газочувствительного преобразователя со встроенными механическими напряже-ниями при температуре нагревателя 600 °C. Показано, что наличие встроенных механических напряжений увеличиваетвнешние механические напряжения при нагреве в 20 раз. На основании полученных результатов моделирования про-ведена корректировка конструкции МЭМС-структуры газочувствительного преобразователя.
Добавил в систему: Кривецкий Валерий Владимирович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ФНКЦ РР
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ФНКЦ РР

Прикрепленные файлы