|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Исследование локального термического воздействия на многослойную мэмс-структуру газочувствительного преобразователястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Николаева А.В., Андреев М.Д., Ефиторов А.О., Поломошнов С.А., Амеличев В.В., Кривецкий В.В.
- Журнал: Наноиндустрия
- Том: 16
- Номер: 9
- Год издания: 2023
- Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 323
- Последняя страница: 330
- DOI: 10.22184/1993-8578.2023.16.9s.324.330
- Аннотация: Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований локального термического воздей-ствия на экспериментальный образец кремниевого кристалла преобразователя на основе МЭМС-структуры с тонкопленочным нагревателем и газочувствительным элементом на основе диоксида олова. Исследованы два режима модуляции рабочей температуры преобразователя — импульсный режим и режим с плавным нагревом и остыванием. Авторами показаны преимущества импульсного режима нагрева и остывания для точности определения состава газа при использовании методов машинного обучения для обработки исходного сигнала сенсора.
- Добавил в систему: Кривецкий Валерий Владимирович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|