|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Влияние энергетического спектра ионов факела на параметры тонких пленок металлови полупроводниковстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Паршина Л.С., Лотин А.А., Зуев Д.А., Хайдуков Е.В., Храмова О.Д., Шорохова А.В., Новодворский О.А., Панченко В.Я.
- Журнал: Перспективные материалы
- Номер: 14
- Год издания: 2013
- Издательство: Интерконтакт Наука
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 255
- Последняя страница: 261
- Аннотация: Рассмотрены способы изменения энергетического спектра ионов факела в процессе импульсного лазерного напыления тонких пленок с использованием однов двулучевой схем напыления при изменении длины волны излучения, плотности энергии на мишени и угла пересечения факелов. Установлено, что в плазменном пучке, образованном пересекающимися факелами при абляции двух мишеней, кинетическая энергия заряженных частиц в отклоненном пучке зависит от угла пересечения факелов. При изменении угла от 170 до 70 градусов между осями факелов Si энергия лидирующей группы ионов изменяется от 40 eV до 370 eV при энергии ионов в исходном факеле до взаимодействия 490 eV. Это позволяет в широком диапазоне управлять энергией осаждаемых частиц в процессе напыления. Предложена модель упруго-неупругого столкновения ионов пересекающихся факелов, в которой проекция скорости сталкивающихся ионов, параллельная биссектрисе угла пересечения сохраняется, а проекция скорости, соответствующая лобовому столкновению преобразуется во внутренние степени свободы, чем обеспечивается отклонение ионов по направлению биссектрисы угла пересечения факелов...
- Добавил в систему: Панченко Владислав Яковлевич