|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Формирование акцепторных центров в тонких пленках zno и (mg,zn)oпри легировании фосфоромстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Паршина Л.С., Лотин А.А., Новодворский О.А., Храмова О.Д., Черебыло Е.А., Панченко В.Я., Венцель К., Барта И.В.
- Журнал: Перспективные материалы
- Номер: S14
- Год издания: 2013
- Издательство: Интерконтакт Наука
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 290
- Последняя страница: 294
- Аннотация: Исследованы оптические и электрические свойства тонких пленок ZnO и (Mg,Zn)O, легированных фосфором в процессе получения методом импульсного лазерного напыления при различных уровнях легирования. Установлено влияние уровня легирования пленок ZnO фосфором на интенсивность спектров фотолюминесценции пленок (ФЛ) и положение полос ФЛ в УФ области. Проведен термический отжиг пленок ZnO:P и (Mg,Zn)O:P в различных режимах. Измерено удельное сопротивление и спектры фотолюминесценции пленок до и после отжига. Установлена немонотонная зависимость удельного сопротивления пленок от концентрации фосфора. Непосредственно после напыления по данным Холловских измерений пленки обладали электронной проводимостью. Активация акцепторных центров, которая происходит при отжиге, подавляет электронную проводимость, и в ряде пленок проводимость становится дырочной. Определены условия для получения пленок (Mg,Zn)O р-типа с удельным сопротивлением 2·10 -2 Ом см.
- Добавил в систему: Панченко Владислав Яковлевич