|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Исследование возможностей атомнослоевого осаждения при формировании проводящих покрытий для кантилеверов атомно-силовой микоскопиистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Краснобородько С.Ю., Высоких Ю.Е., Булатов М.Ф., Парамонов В.В., Медведев Б.К., Филиппов Н.А.
- Журнал: Наноиндустрия
- Том: 16
- Номер: 59-2(119)
- Год издания: 2023
- Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 353
- Последняя страница: 359
- Добавил в систему: Булатов Марат Фатыхович