Кварцевая эталонная мера для сканирующей зондовой микроскопии

Ахметова, А.И.; Советников, Т.О.; Логинов, Б.А.; Яминский, Д.И.; Яминский, И.В.

Авторы: Ахметова А.И., Советников Т.О., Логинов Б.А., Яминский Д.И., Яминский И.В.
Журнал: Наноиндустрия
Том: 17
Номер: 2
Год издания: 2024
Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 98
Последняя страница: 105
DOI: 10.22184/1993-8578.2024.17.2.98.105
Аннотация: Повышение точности и достоверности измерений в наномасштабе становится все более актуальной задачей для различных приложений, особенно в таких областях, как полупроводниковая электроника, оптические метаматериалы, сенсоры и биологические измерения. С появлением методов визуализации высокого разрешения закономерно возникла и потребность в метрологической поверке этих приборов. Появилась задача измерить наноразмерную морфологию в конкретном местоположе- нии, что требует точности позиционирования как в вертикальном, так и в латеральном направлении. Стабильность и надежность измерений требуют регулярно отлаживать микроскоп с помощью калибро- вочных средств. Одним из таких эталонов могут быть кварцевые калибровочные меры.
Добавил в систему: Советников Тимофей Олегович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ФНКЦ РР
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ФНКЦ РР

Кварцевая эталонная мера для сканирующей зондовой микроскопиистатья

Прикрепленные файлы