|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Numerical Simulation of Capacitively Coupled RF Discharges in a Low Frequency Regimeстатья
- Авторы: Shishkin A.G., Smirnov A.P., Shishkin G.G.
- Сборник: Proceedings of XXI International Conference on Phenomena in Ionized Gases
- Том: 1
- Год издания: 1993
- Место издания: Bochum, Germany
- Первая страница: 107
- Последняя страница: 108
- Добавил в систему: Шишкин Алексей Геннадиевич