|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Experimental and Numerical Analysis of Plasma Parameters in Low Pressure RF Dischargeстатья
- Авторы: Shishkin A.G., Shishkin G.G.
- Сборник: Proceedings of the XIII International Conference on Gas Discharges and Their Applications
- Том: 2
- Год издания: 2000
- Место издания: Glasgow
- Первая страница: 667
- Последняя страница: 670
- Добавил в систему: Шишкин Алексей Геннадиевич