Implantation angle influence on penetration of boron channelltd ions into siliconстатья

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 5 июня 2024 г.

Прикрепленные файлы


Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Полный текст Kumakhov_RdEF73.pdf 1,5 МБ 31 мая 2024 [kumakhov_ma]