|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Influence of Deposition Conditions on Structure and Composition of -C:H Filmsстатья
- Авторы: Sleptsov V.V., Khots G.E., Gulina V.L., Antipov A.N., Rudenko A.P., Kulakova I.I.
- Журнал: Journal of Chemical Vapor Deposition
- Том: 6
- Номер: 4
- Год издания: 1998
- Первая страница: 314
- Последняя страница: 322
- Добавил в систему: Кулакова Инна Ивановна