Аннотация:Статья посвящена разработке конструкции и изготовлению металлической оснастки из полированной нержавеющей стали с покрытием нитридом титана. Данная оснастка применима в процессах вакуумной сублимационной очистки органических и металлорганических полупроводниковых материалов, необходимых для создания органических светоизлучающих диодов.