Корреляционная экстремальная ультрафиолетовая, ультрафиолетовая и оптическая микроскопия на базе зеркального микроскопа с аксиальной томографией

Малышев, И.В.; Реунов, Д.Г.; Чхало, Н.И.; Торопов, М.Н.; Пестов, А.Е.; Полковников, В.Н.; Чернышев, А.К.; Плешков, Р.С.; Казаков, Е.П.; Лаврушкина, С.В.; Голышев, С.А.; Поспелов, А.Д.; Широкова, О.М.

Авторы: Малышев И.В., Реунов Д.Г., Чхало Н.И., Торопов М.Н., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Чернышев А.К., Плешков Р.С., Казаков Е.П., Лаврушкина С.В., Голышев С.А., Поспелов А.Д., Широкова О.М.
Журнал: Журнал технической физики
Том: 94
Номер: 8
Год издания: 2024
Издательство: Наука
Местоположение издательства: СПб.
Первая страница: 1302
DOI: 10.61011/JTF.2024.08.58558.156-24
Аннотация: Рассмотрено применение зеркального экстремального ультрафиолетового микроскопа с 46-кратным разрешением до 140 nm для исследования образцов на трех длинах волн: 13.84, 200 и 535 nm. Возможность видеть одну область образца на разных длинах волн дает дополнительную информацию о его структуре. Выбор длины волны происходит за счет смены источников: светодиод или газовый лазерно-плазменный источник, а также ввода-вывода многослойного фильтра, отсекающего все, кроме 13.84 nm. Для трехмерной реконструкции проведено сканирование образца вдоль оптической оси на пьезоактуаторе. При реконструкции изображений по томографическим данным использована функция рассеяния точки, смоделированной на основе измеренных на интерферометре аберраций. Ключевые слова: экстремальная ультрафиолетовая микроскопия, ультрафиолетовая микроскопия, аксиальная томография, электронная микроскопия, мягкая рентгеновская микроскопия.
Добавил в систему: Казаков Евгений Павлович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ФНКЦ РР
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ФНКЦ РР

Прикрепленные файлы