Аннотация:Впервые для получения покрытий из тантала использовано безводородное химическое газофазное
осаждение (CVD) восстановлением пентабромида тантала парами кадмия, позволяющее существенно
(более чем на 200 К) снизить температуру процесса осаждения. Показано, что в зависимости от материала подложки происходит осаждение разных модификаций (α, β) тантала или их смеси.