Спектральные свойства трехмерных волноводных структур, изготовленных методом двухфотонной лазерной литографии

Майдыковский, А.И.; Андросов, А.С.; Апостолов, Д.О.; Смирнов, К.А.; Батуев, И.О.; Мурзина, Т.В.

Авторы: Майдыковский А.И., Андросов А.С., Апостолов Д.О., Смирнов К.А., Батуев И.О., Мурзина Т.В.
Журнал: Журнал экспериментальной и теоретической физики
Том: 120
Номер: 12
Год издания: 2024
Первая страница: 924
Последняя страница: 929
DOI: 10.31857/S0370274X24120157
Аннотация: Развитие метода двухфотонной лазерной литографии для создания оптических элементов с характерными размерами в единицы микрометров является актуальной задачей. В данной работе представлены результаты изготовления методом двухфотонной лазерной литографии из гибридного фоторезистаOrmoComp® оптических волноводов микронного диаметра, оптически не связанных с подложкой исовмещенных с системой ввода–вывода оптического излучения, основу которых составляют призменныеадаптеры полного внутреннего отражения. Рассчитаны и измерены спектры пропускания всей структуры (адаптер входной–волновод–адаптер выходной) и показано, что коэффициент пропускания в маломодовом режиме составляет 20–40% в спектральном диапазоне 700–1650 нм. Согласно расчетам, основноймеханизм потерь в такой структуре определяется сильным рассеянием в зоне перехода конусной частиадаптера в волновод из-за сложной структуры оптического поля, нарушением режима полного внутреннего отражения на призмах из-за высокой угловой апертуры фокусируемого пучка излучения. Показананеобходимость учета эффекта Гуса–Хенкен при проектировании элементов сопряжения.
Добавил в систему: Майдыковский Антон Игоревич

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ФНКЦ РР
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ФНКЦ РР

Спектральные свойства трехмерных волноводных структур, изготовленных методом двухфотонной лазерной литографиистатья Исследовательская статья

Прикрепленные файлы