Аннотация:Представлены результаты исследования распределения лития в твердотельном тонкопленочном литий ионном аккумуляторе методом резерфордовского обратного рассеяния (РОР). Для анализа использовались ионы He+ с энергией 1.8 МэВ, рассеянные на угол 165° при условии падения по нормали к поверхности. По величине потерь энергии рассеянных ионов определена концентрация ионов Li в аккумуляторных слоях в заряженном и разряженном состоянии. Показано,чтозначенияконцентрацииLi,полученныеметодомРОРиметодомгальваностатических измерений совпадают при условии, что удельное сечение торможения на литии eLi в анодном слое в два раза меньше по сравнению с простым веществом.