|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Эффект увеличения коэффициента обратно рассеянных электронов на многослойных наноструктурах и инверсия контраста изображений в сканирующей электронной микроскопиистатья Исследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
- Авторы: Рау Эдуард Иванович, Зайцев Сергей Владимирович
- Журнал: Успехи физических наук
- Том: 195
- Номер: 4
- Год издания: 2025
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 425
- Последняя страница: 431
- DOI: 10.3367/UFNr.2025.01.039838
- Аннотация: Обсуждены причины увеличения коэффициента обратно рассеянных электронов (ОРЭ) на многослойных пленочных наноструктурах при их исследовании в сканирующем элек-тронном микроскопе (СЭМ). Рассмотрены условия возникновения инверсии контраста их изображений. Впервые получено полное аналитическое выражение для сигнала, детекти-руемого в режиме ОРЭ в СЭМ, для многослойных наноструктур. Решение прямой и об-ратной задач связывающих величины сигнала с композицией трехмерного образца в зависимости от энергии зондирующих электронов позволяет определить толщины и глубины залегания нанообъектов в массиве матрицы с большим пространственным разрешением. Основные расчеты в предлагаемой работе проведены по уточненным эмпирическим фор-мулам, соответствующим экспериментальным данным авторов или приведенным в цити-рованной литературе.
- Добавил в систему: Зайцев Сергей Владимирович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | статья в УФН | RAU_1.PDF | 620,8 КБ | 5 апреля 2025 [ZaytsevSV] |