Аннотация:В данной работе проводилось численное исследование эффектов, возникающих при протекании разреженного газа в микроструктурах, в которых граница колеблется с высокой частотой. Было промоделировано течение через цилиндрическую пору колеблющейся мембраны, в микроканале с рядом быстро осциллирующих перегородок и в плоском канале между двумя границами, движущимися по волновому закону. Было показано, что поток газа зависит от безразмерного соотношения характерной скорости колебаний в микроструктурах и характерной тепловой скорости молекул газа. Эта зависимость становится существенно значимой, когда безразмерное соотношение имеет порядок единицы. Данный эффект может использоваться для разделения газов с разной молекулярной массой. Исследование было проведено в широком диапазоне параметров (длина и толщина каналов, амплитуда и частота колебаний) для определения оптимальных параметров с точки зрения разделения газов. Также было показано, что в микроканале со стенками, движущимися по волновому закону, поток газа “по” и “против” движения волн может отличаться на порядки, что может быть использовано для создания высокоэффективных микронасосов.